Cihaz Adı / Marka / Model
• Adı: Sputter Kaplama Sistemi (PVD – Saçtırma)
• Marka: VAKSİS
• Model: ANGORA

Genel Bakış
VAKSİS ANGORA, fiziksel buharlaştırma yöntemlerinden (PVD) biri olan saçtırma (sputtering) tekniği ile yüzey kaplama yapılmasını sağlayan bir kaplama sistemidir. Bakır, krom, nikel, silikon, silikondioksit, titanyum, tantal gibi farklı target (hedef) malzemeleri kullanılarak ince film kaplamalar gerçekleştirilebilir. Sistem; 4” wafer uyumluluğu, RF/DC bias seçeneği, ısıtma/soğutma ve döndürme özellikleri ile kontrollü ve tekrarlanabilir kaplama süreçlerine imkan tanır. 

Kullanım Amacı / Çıktı
• PVD–sputter yöntemi ile ince film/kaplama biriktirme
• Metal ve dielektrik targetlar ile yüzey fonksiyonelleştirme ve proses geliştirme
• RF veya DC bias ile film özelliklerinin kontrolü
• Isıtma/soğutma ve döndürme ile homojen kaplama elde edilmesi

Uygulama Alanları
• Mikro/nanofabrikasyon süreçlerinde ince film biriktirme (metal/dielektrik katmanlar)
• Sensör ve MEMS üretimi için kaplama adımları
• Elektronik ve optoelektronik bileşenlerde ara katman/elektrot kaplamaları
• Yüzey modifikasyonu, yapışma (adhesion) katmanları ve bariyer kaplamaları

Öne Çıkanlar
• 4” wafer uyumluluğu ile yaygın cleanroom proseslerine uygunluk
• RF veya DC bias seçeneği ile proses esnekliği
• 500°C’ye kadar örnek ısıtma, su soğutma ve 1–30 rpm döndürme ile kontrollü kaplama

Teknik Özellikler

İletişim / Hizmet Talebi
Hizmet talebi için: [email protected] adresine e-posta gönderebilirsiniz. (Numune türü, amaç ve tarih aralığını belirtmeniz rica olunur.)