Boğaziçi CT3
Cihaz Adı / Marka / Model
• Adı: Kontakt Yüzey Profili Ölçüm Cihazı (Stylus Profilometre)
• Marka: BRUKER
• Model: DEKTAK XT
Genel Bakış
BRUKER DEKTAK XT, iki boyutlu (2D) yüzey topografisini fiziksel temas (stylus) yöntemiyle ölçmeye olanak tanıyan bir profilometredir. Kaplama kalınlığı, adım yüksekliği, pürüzlülük ve yüzey profilinin hassas ölçümünde kullanılabilir. Titreşim izolasyonuna sahip yapısı ile tekrarlanabilir ve güvenilir ölçüm çıktıları üretir.
Kullanım Amacı / Çıktı
• 2D yüzey profili ve topografisinin temaslı (stylus) ölçümü
• Film/kaplama kalınlığı ve adım yüksekliği (step height) ölçümleri
• Yüzey pürüzlülüğü ve profil analizi
• Büyük numune ölçümleri için geniş ölçüm ve örnek alanı kapasitesi
Uygulama Alanları
• İnce film/kaplama kalınlığı ölçümleri (optik kaplamalar, metal/oksit filmler vb.)
• Mikro/nanofabrikasyon süreçlerinde adım yüksekliği ve proses doğrulama
• Yüzey pürüzlülüğü ve topografik karakterizasyon
• MEMS/mikroyapı proseslerinde profil ve morfoloji ölçümü
Öne Çıkanlar
• 1 Å seviyesinde dikey çözünürlük ile yüksek hassasiyetli topografi ölçümü
• 150 mm (6”)’ye kadar numune ölçüm aralığı ile geniş numune uyumluluğu
• Titreşim izolasyonu ile ölçüm kararlılığının desteklenmesi
Teknik Özellikler
| Özellik | Değer / Açıklama |
|---|---|
| Ölçüm tipi | 2D yüzey topografisi (stylus ile fiziksel/temaslı ölçüm) |
| Dijital büyütme (dikey) | 0.275 – 2.2 mm |
| Numune ölçüm aralığı | 150 mm (6”)’ye kadar |
| Titreşim izolasyonu | Mevcut |
| Maksimum örnek kalınlığı | 50 mm (1.95”) |
| Maksimum örnek eni | 200 mm (8”) |
| Dikey aralık | 1 mm (0.039”) |
| Dikey çözünürlük | 1 Å (@ 6.55 μm range) |
| Tekrarlanabilir adım yüksekliği | 4 Å, 1 sigma (≤1 μm adımlarda; 30 tarama, 12.5 μm stylus) |
| Kullanım açıklaması | Operasyonda |
İletişim / Hizmet Talebi
Hizmet talebi için: [email protected] adresine e-posta gönderebilirsiniz. (Numune türü, amaç ve tarih aralığını belirtmeniz rica olunur.)
